1/2
FusionScope 多功能显微镜（AFM+SEM 原位同步联用技术）
分享
产品详情
一、产品简介
美国 Quantum Design 公司经过多年研发，重磅推出 FusionScope 多功能显微镜，开创性地将扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)两种技术无缝融合在一台设备上。无需移动样品或切换操作系统，快速实现在同一用户界面内、同一空间位置进行 SEM 和 AFM 的互补性综合测量，实现对所选定区域的三维形貌、组分、力学、磁学和电学等物理性能原位测试。
二、设备参数
| AFM | SEM |
| 扫描范围XY：22x22μm（闭环） | 电子源：热场发射 |
| 扫描范围Z：11μm | 加速电压：3.5 kV-15 kV |
| 成像噪声：<50pm @ 1kHz | 探头电流：5pA-2.5nA ( 典型值为 300pA ) |
| 悬臂探头：自感压阻式 | 放大倍数：25X-200,000X |
| 测量模式：Contact, Dynamic, FIRE, MFM, C-AFM... | 探测器：In-Chamber SE Everhart-Thornley |
